Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS

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Título:	Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
Autor:	Ferreira, Fábio Emanuel de Sousa
Orientador:	Serra, Ricardo Gil Henriques
Palavras-chave:	Pulverização catódica; Filmes finos
Data:	16-Set-2013
Local de edição ou do evento:	Coimbra
Descrição:	Dissertação de Mestrado Integrado em Engenharia Mecânica apresentada à Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra
URI:	https://hdl.handle.net/10316/38860
Direitos:	closedAccess
Aparece nas coleções:	UC - Dissertações de Mestrado FCTUC Eng.Mecânica - Teses de Mestrado

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Fabio_Ferreira_2006116114_2013_rf.pdf		16.06 MB	Adobe PDF	Pedir uma cópia

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