Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10316/38860
Title: Pulverização catódica magnetrão com impulsos de alta potência (HiPIMS) em modo DOMS
Authors: Ferreira, Fábio Emanuel de Sousa 
Orientador: Serra, Ricardo Gil Henriques
Keywords: Pulverização catódica; Filmes finos
Issue Date: 16-Sep-2013
Place of publication or event: Coimbra
Description: Dissertação de Mestrado Integrado em Engenharia Mecânica apresentada à Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra
URI: http://hdl.handle.net/10316/38860
Rights: closedAccess
Appears in Collections:UC - Dissertações de Mestrado
FCTUC Eng.Mecânica - Teses de Mestrado

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